工件位置对薄膜沉积速率的影响

郑锦华; 许璐; 范忠雷; 马新灵

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工件位置对薄膜沉积速率的影响

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研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4μm、2.1μm、1.8μm。通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072~0.103 m/s,0.089~0.121 m/s,0.114~0.148 m/s,气体密度为6.37e^(-5)kg/m3,5.81e^(-5)kg/m3,5.18e^(-5)kg/m3。因此,在沉积过程中,不同位置处的薄膜沉积速率的主要影响因素是气体流速和气体密度。

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来源
《人工晶体学报》 |2018年第5期|1030-1035|共6页
作者
郑锦华; 许璐; 范忠雷; 马新灵;
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作者单位

郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心;

郑州瑞邦石油机械有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜中的力学效应;
关键词
类金刚石薄膜; 薄膜沉积厚度; Ansys; 气体密度; 气体流速;

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