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SOI技术——21世纪的硅集成技术

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摘要

SOI技术作为 2 1世纪的硅集成技术 ,越来越受到人们的关注。文章从寄生电容、闭锁效应、热载流子效应、体效应及辐射效应等几个方面详细讨论了 SOI器件对体硅器件的优势 ,并讨论了当前

著录项

来源
《微电子学》 |2001年第1期|1-5|共5页
作者
伍志刚; 凌荣堂;
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作者单位

中国科学院电子学研究所;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
SOI; SIMOX; 硅集成技术; 微电子;

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