QMEMS晶振的MEMS器件真空度测量方法研究

王珊珊; 宋亮; 党向婷

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QMEMS晶振是一种采用MEMS（micro-electro-mechanical system）加工技术充分发挥石英（Quartz）晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振.利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点,提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部,对MEMS器件腔体内部真空度进行实时监测的方法.在对石英晶振测量真空原理进行分析的基础上,研究了QMEMS晶振的结构和管壳开口方法,设计了一套基于QMEMS晶振气压传感器的真空度测量系统,实现了对真空度的测量,并对系统进行了标定.试验表明,该真空计可实现1～30 kPa压强范围的测量,测量精度约为5％,能满足MEMS器件实时真空度测量要求.

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来源
《国外电子测量技术》 |2014年第1期|27-31|共5页
作者
王珊珊; 宋亮; 党向婷;
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作者单位

西安工业大学北方信息工程学院电子信息系;

西安机电信息技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN206.1;
关键词
QMEMS; 石英晶振; 真空度测量; 谐振阻抗;

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