氮化铝纳米结构的生长与物性研究

刘梦婷; 韩杰才; 王先杰; 宋波

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氮化铝(AlN)纳米结构除了具备AlN本身宽带隙、高热导率、高击穿场强和高热稳定性等优异物理性能外,还具备表面效应和小尺寸效应所引起的独特物理和化学性质,因而受到人们的广泛关注。在国内外研究学者多年的不懈努力和研究下,目前已经能够生长结晶质量较高的AlN纳米结构,并在光学、电学和磁学等领域发挥着重要的作用。在本文中,首先探讨了包括化学气相沉积法、物理气相传输法、直流电弧放电法、氢化物气相外延法、分子束外延法等不同AlN纳米结构制备方法的研究进展。随后系统地总结了在不同方法制备过程中,温度、源、气氛、生长时间和催化剂等因素对AlN纳米结构的形貌和结晶质量的影响,并分析了它们的生长机理。最后还详细介绍和讨论了AlN纳米结构的物理性质。

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来源
《人工晶体学报》 |2020年第11期|2098-2121|共24页
作者
刘梦婷; 韩杰才; 王先杰; 宋波;
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作者单位

哈尔滨工业大学物理学院;

哈尔滨150001;

哈尔滨工业大学;

特种环境复合材料技术国家级重点实验室;

哈尔滨150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体的光学性质;铝的无机化合物;
关键词
氮化铝; 纳米结构; 制备方法; 生长机理; 物理性质;

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