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低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺

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介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了描述.

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来源
《微电子学与计算机》 |2008年第11期|206-208|共3页
作者
郭宏;
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作者单位

天津大学;

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正文语种 chi
中图分类计算机网络;
关键词
压力; 传感器; 量程;

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