铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层+Ti/TiN多层膜的结构与性能

黄河; 白彬; 赖新春; 刘天伟; 严东旭; 龙重

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为了改善金属铀的摩擦磨损和抗腐蚀性能,采用等离子体浸没离子注入沉积(PIII&D)技术在铀表面氮化,再沉积Ti/TiN多层膜。利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的形貌和组织结构;对薄膜的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能进行了测试。结果表明:薄膜表面致密,界面晶粒柱状生长方式被阻断,晶粒细化;薄膜为Ti和TiN的双相结构,衍射谱中出现了UO2和U2N3的衍射峰;薄膜大大提高了铀基体的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能,调制周期对薄膜性能的影响较大。

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来源
《材料保护》 |2010年第2期|64-66|共3页
作者
黄河; 白彬; 赖新春; 刘天伟; 严东旭; 龙重;
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作者单位

表面物理与化学国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属表面防护技术;
关键词
氮化; Ti/TiN多层膜; 等离子体浸没离子注入沉积; 铀; 性能;

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