O波段8通道硅基二氧化硅平坦化阵列波导光栅的设计及制备

李超懿; 安俊明; 张家顺; 王亮亮; 李建光; 王红杰; 吴远大; 尹小杰; 王玥

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设计并制作了一款应用于IEEE 200/400GbE标准802.3bs的阵列波导光栅.该阵列波导光栅使用2.0%的超高折射率差硅基二氧化硅材料,使得芯片尺寸及损耗较小.为了获得平坦化的接收光谱,将输出波导进行展宽,采用多模波导结构,激发若干个高阶模,数个模式叠加使得原本高斯状的光谱顶部产生平坦化,形成箱形接收光谱.设计的阵列波导光栅的中心波长为1 291.10nm,通道间隔为800GHz,芯片尺寸为11mm×4mm.经过等离子增强化学气相沉积和感应耦合等离子刻蚀工艺制备了芯片,测试结果表明最小的插入损耗为-3.3dB,相邻通道间串扰小于-20dB,单通道1dB带宽在2.12~3.06nm范围,实现了良好的解复用和平坦化效果,在实际光通信系统中有一定的实用价值.

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来源
《光子学报》 |2017年第8期|15-23|共9页
作者
李超懿; 安俊明; 张家顺; 王亮亮; 李建光; 王红杰; 吴远大; 尹小杰; 王玥;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室;

中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

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正文语种 chi
中图分类光波导;
关键词
阵列波导光栅; 波分复用; 光子器件; 平坦光谱响应; 光通信;

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