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利用硅基波导改进的二氧化硅基阵列波导光栅装置及制备

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摘要

一种改进的二氧化硅基阵列波导光栅及制作，包括输入和输出波导、平板波导和存在相邻长度差的阵列波导,输入和输出波导均包括利用第二耦合器连接的二氧化硅基波导部分和硅基波导部分，其中利用第一耦合器与二氧化硅基平板波导罗兰圆连接的为输入或输出波导的硅基波导部分；用于硅基波导和二氧化硅基波导连接的第二耦合器，位于硅基波导的输入或输出波导逐渐分开后足够距离处。硅基阵列波导光栅的信道间隔与输入或输出波导的间距成正比。为尽量避免输入或输出波导间耦合引起的串扰，输入或输出波导间需保持足够距离解耦。将二氧化硅基阵列波导光栅的输入或输出波导替换为硅基波导以减小其信道间隔。本发明工艺成熟，操作简单，成本低等优点。

著录项

公开/公告号CN104570200B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-11

原文格式PDF
申请/专利权人南京大学;
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申请/专利号CN201410795629.X
发明设计人江伟;刘昂;
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申请日2014-12-19
分类号G02B6/12(20060101);G02B6/13(20060101);
代理机构32249 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙);
代理人陈建和
地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
入库时间 2022-08-23 09:59:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-08-11

授权

授权
2015-05-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20141219

实质审查的生效
2015-05-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20141219

实质审查的生效
2015-04-29

公开

公开
2015-04-29

公开

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