微波等离子体增强法合成氮杂二氧化钒

陈金民; 黄志良; 刘羽; 王升高

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微波等离子体增强法合成氮杂二氧化钒

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选用V2O5为前驱物,通过在玻璃片上镀膜,利用高纯氢和高纯氮作为气源,采用微波等离子体增强法,在低温条件下合成了氮杂二氧化钒(VO2-xNy)样品。通过XRD表征了样品的成分,结果表明:合成的样品为氮杂二氧化钒,样品的结晶度较低,颗粒尺寸较小;相变温度测试结果表明:通过氮掺杂可以有效降低二氧化钒薄膜的相变温度,目前最低可以降低至42℃。

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来源
《钢铁钒钛》 |2007年第2期|6-8|共4页
作者
陈金民; 黄志良; 刘羽; 王升高;
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作者单位

武汉工程大学湖北省等离子体重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
微波等离子体增强; 氮杂VO2-xNy; 薄膜; 相变温度;

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