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湍流型水平式APCVD反应器传热特性的研究

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摘要

本文通过数值模拟以纵向宽高比和横向宽高比分别为10和4的湍流型水平式反应器为例,研究了不同雷诺数(Re)和瑞利数(Ra)下反应器内部的传热问题。结果表明,热对流处于软湍流区时,时均传热量在整个基座横向上分布比较均匀,说明这种湍流型反应器在原则上具有一定的可行性。

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2013年第5期|901-905|共5页
作者
刘石兵; 李晖; 郭付军; 魏家星; 李昌烽;
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作者单位

江苏大学能源与动力工程学院;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
化学气相沉积; 湍流; 热对流; 传热; 水平式反应器;

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