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大尺寸水平式APCVD反应器内传热和流动特性的研究

摘要

本文以水平式常压化学气相沉积(APCVD)反应器为例,通过改变Re数(Re<100)和Ra数(Ra≤20000),模拟研究了横向宽高比A=10,纵向宽高比B=200的反应腔内温场和流场的变化情形。Re数增大时,反应腔内不稳定点向下游移动,且腔内平均Nu数略微增大,但在所研究Re数范围内,其变化对腔内换热影响不大。Ra数增大时,换热量明显增加,不稳定起始点向上游移动。

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