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陈胜斌; 李纪赛; 张新宇;
华中科技大学图像识别与智能系统研究所;
硅各向异性腐蚀; 微光学元件; 非球面;
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机译:高精度精加工的最前沿-关于超稳定,超精密非球面磨削和光学元件高精度制作的建议
机译:基于钠 - 己硅多孔玻璃的微流体芯片光学感觉元件的研制
机译:基于硅和锗晶片的光学元件,可替代中低红外非球面透镜
机译:基于硅微谐振器的电光开关和片上光学互连的延迟线
机译:基于硅光学凳的前视图双轴扫描仪用于微内透视应用
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机译:基于量子DOT有源介质的单和耦合微盘谐振器的可重构光学元件。
机译:非球面微透镜及其制造和光纤耦合器,会聚光学系统,光学元件,半导体激光光源和利用非球面微透镜的图像设备
机译:基于氟的等离子腐蚀高空硅结构各向异性腐蚀方法
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