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高灿灿; 姬凯迪; 马奎; 杨发顺;
贵州大学电子科学系;
贵阳550025;
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室;
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心;
β-Ga_(2)O_(3)薄膜; 宽禁带半导体; 磁控溅射; 衬底加热温度; 高温退火; 晶体结构; 表面形貌;
机译:射频磁控溅射法研究衬底温度和退火温度对Pt薄膜结构,电学和微结构性能的影响
机译:射频磁控溅射法生长衬底温度和La_(0.9)Sr_(0.1)Ga_(0.8)Mg_(0.2)O_(3-δ)电解质膜的生长
机译:退火温度和退火气氛对磁控溅射蓝宝石(0001)衬底上ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:退火后温度对射频磁控溅射制备的Ga和F共掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:退火温度对柔性衬底上掺杂Ti-Ga的ZnO薄膜性能的影响
机译:退火后温度对射频磁控溅射制备ZnO薄膜性能的影响
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响
机译:减少钢材料停火加热炉后温度升高的燃油损失的方法,例如,减少钢,坯料,钢,钢,钢,钢,钢,钢,钢,钢,钢的加热炉中加热后温度升高的燃油损失的方法。钢管
机译:具有衬底,中间层和磁敏层的光盘,其中中间层的熔点低于衬底的退火温度但高于磁敏层的处理温度
机译:重塑的方法例如用于热成型微型零件的热塑性薄膜,包括在气体压缩步骤中将薄膜加热到成型温度,并将成型后的零件冷却到低于热变形温度
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