首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >硅单晶中辐照缺陷对氧的非均匀成核和沉淀的影响

硅单晶中辐照缺陷对氧的非均匀成核和沉淀的影响

         

摘要

辐照缺陷可作为氧非均匀成核的核心加速氧沉淀的发生,使中子嬗变掺杂直拉硅(NTDCZSi)一步高温退火即可完成内吸除(IG)处理,对其机理进行了简单的探讨。

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