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织构单晶硅表面上银纳米颗粒的制备及其反射性质研究

         

摘要

为减少光反射损失,通过热蒸发在织构单晶硅(经含有碱液和添加剂的特殊溶液80°C腐蚀30min而成)表面上沉积了一定厚度的银膜后经一定温度(0~500°C)退火形成银纳米颗粒。SEM下观察到,银纳米颗粒的大小和形状与退火温度有很大关系。银纳米颗粒表现出的等离激元性质对反射谱有影响。实验分析得到,Ag沉积质量是0.003 8g,400°C N2退火20min时样品的反射率和反射率降低(REF<1)的波段达到最佳匹配。另外,金字塔上银纳米颗粒的均匀性与沉积的厚度有关。

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