纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力

徐锋; 左敦稳; 卢文壮; 张海余; 王珉

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纳米金刚石薄膜的微结构和残余应力

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采用双偏压热丝化学气相沉积法在不同栅极和衬底偏流下制备出纳米金刚石薄膜.采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和残余应力.分析结果表明,金刚石晶粒尺寸随着栅极和衬底偏流的增加而减小,而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著增加.金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而减小,薄膜热应力也随之减小.晶界非金刚石成分引起金刚石本征应力呈压应力性质,晶界密度的增加使得本征应力随着栅极偏流的增加而增加,但衬底偏流引起薄膜抵抗变形能力剧烈下降,导致金刚石本征压应力的减小.

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来源
《金属学报》 |2008年第1期|74-78|共5页
作者
徐锋; 左敦稳; 卢文壮; 张海余; 王珉;
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作者单位

南京航空航天大学机电学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TQ161.8;
关键词
纳米金刚石膜; 热丝化学气相沉积; 弹性模量; 残余应力; 栅极偏流; 衬底偏流;

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