单晶LN BAW谐振器有限元仿真研究

张沂; 孙延龙

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利用离子注入剥离法(CIS)制备的铌酸锂(LN)压电薄膜可用于制备体声波(BAW)器件,近年来备受关注。滤波器的指标与谐振器的性能密切相关,但基于LN单晶薄膜的BAW谐振器,对其结构的仿真优化还未有较深入的报道。该文以LN单晶薄膜为核心压电层材料,构建了固态反射型(SMR)单晶薄膜谐振器有限元仿真模型,对其压电层厚度和布喇格反射层厚度进行了设计,并重点针对谐振器上电极的台阶结构进行了二维模型仿真,为高频LN BAW滤波器的制备提供了理论依据。

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来源
《压电与声光》 |2022年第1期|26-29|共4页
作者
张沂; 孙延龙;
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作者单位

四川大学电子信息学院;

成都市雷翼电科科技有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类铁电及压电器件;声光器件;
关键词
铌酸锂(LN)单晶薄膜; 固态反射型; 有限元; 机电耦合系数; 谐振器;

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