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采用非恒压力加压和非恒功率加热技术合成金刚石的工艺初探

         

摘要

本文采用非恒压力加压和非恒功率加热的控制技术,设计了金刚石合成工艺曲线.该工艺合成金刚石时,能明显提高合成腔体内的温度场与压力场的稳定性,改善金刚石单晶生长环境,可使30mm腔体合成金刚石的单产增加9.69%,MBD8以上品级的单晶同比增加41%.

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