MEMS陀螺在片自动测试系统开发

孙天玲; 胥超; 赵阳; 付兴中; 杨志

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MEMS陀螺在片自动测试系统开发

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为了快速评估出微机械陀螺的振动性能参数,结合ASIC探针卡,NI数据采集卡,半自动探针台和软件实现了圆片级自动测试,判断出陀螺是否能正常振荡。实验结果表明,该圆片级在片自动测试系统能准确的测量出芯片的振动性能,快速准确的反映出工艺能力,且实现圆片级挑选出不同等级性能的陀螺芯片,对陀螺的设计和生产加工具有重要的促进作用。

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来源
《数字技术与应用》 |2020年第4期|1-2|共2页
作者
孙天玲; 胥超; 赵阳; 付兴中; 杨志;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所;

河北石家庄050051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP274.2;
关键词
微机械陀螺; 在片测试系统; 数字采集卡;

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