AlN晶体生长的模糊自适应压力控制系统研究

于凯; 王利杰; 郭森; 李璐杰

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本文研究了一种AlN单晶生长的压力控制系统,系统主要包括真空腔室、真空泵、压力传感器、控压仪表、碟阀、PLC模块、上位机模块.其中PLC、控压仪表、上位机以Modbus通讯的方式进行数据交换,上位机中的模糊自适应PID算法实时控制真空腔室和真空泵之间的碟阀开启比例.上述系统可以为AlN晶体生长工艺提供稳定可靠的大范围的压力控制.

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来源
《数字化用户》 |2018年第48期|36|共1页
作者
于凯; 王利杰; 郭森; 李璐杰;
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作者单位

300220 中国电子科技集团公司第46研究所天津;

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300220 中国电子科技集团公司第46研究所天津;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
上位机; PLC; 控压仪表; 碟阀;

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