用于X射线探测器的非晶硒薄膜的制备及其性能的研究

邵胜子; 陈泽祥

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用于X射线探测器的非晶硒薄膜的制备及其性能的研究

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非晶硒薄膜由于用在X射线数字平板探测器时有很高的灵敏度和分辨率,近年来一直是热门的研究课题.文中采用超高真空热蒸镀方法对如何制备出性能优良的非晶硒薄膜的方法进行了探讨,在严格控制蒸发室温度和基底温度的前提下,采用不同的蒸发电流和蒸发速率制备出不同的非晶硒薄膜,并对其进行了电阻测试和XRD分析以及耐高温测试.经过系列实验和结果分析,制备出了电阻率较高并有一定耐高温性能的非晶硒薄膜.

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来源
《电子元器件应用》 |2011年第8期|28-30|共3页
作者
邵胜子; 陈泽祥;
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作者单位

电子科技大学,陕西西安610054;

电子科技大学,陕西西安610054;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
X射线探测器; α-Se; 耐高温; XRD;

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