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电容式MEMS压力传感器的优化设计

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摘要

由于MEMS压力传感器的制作过程中存在着许多不可控因素,例如,制备环境、工艺误差、设备误差等,因此,整个MEMS压力传感器的稳健优化设计是极其重要的。本文对电容式MEMS压力传感器进行优化设计,以期为后续研究开发电容式MEMS压力传感器奠定必要的基础依据。

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来源
《电子产品世界》 |2023年第5期|42-43|共3页
作者
方子硕;
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作者单位

沈阳仪表科学研究院有限公司;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
MEMS; 压力传感器; 电容式; 优化设计;

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