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新型MEMS器件-光栅光阀(GLV)的原理及应用

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摘要

MEMS(微机电系统)器件可同时结合机械功能和电子电路，一般采用半导体工艺来制造从微米到毫米级的器件。MEMS器件的应用范围非常广泛，包括传感器、液体力学、光学、RF、存储和生物技术应用。

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来源
《电子产品世界》 |2004年第1期|74-76|共3页
作者
钟灿涛;
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作者单位

北京大学物理学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光纤元件;
关键词
光栅光阀; MEMS; 微机电系统; 应用; 光反射; 光衍射;

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