光栅光阀器件的结构改进与制作工艺研究

张巍; 耿煜; 侯昌伦; 杨国光

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根据光栅光阀的工作原理,在结构上对传统的光栅光阀器件进行了改进,分析了改进后光栅光阀器件的光学特性、结构特性,以及制作工艺流程.改进后的光栅光阀结构中硅基底上设有二氧化硅隔离层,隔离层上沉积无定形硅作为牺牲层,可动梁的材料是氮化硅,固定梁为蒸镀的金属铝层.通过离子刻蚀的方法刻蚀图形,用化学腐蚀方法掏空牺牲层得到所需桥梁状结构.研究表明改进后的器件黑区范围小,驱动电压较低,光学效率较高,具有潜在的应用前景.

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来源
《光子学报》 |2009年第8期|1926-1931|共6页
作者
张巍; 耿煜; 侯昌伦; 杨国光;
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作者单位

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;
关键词
光栅光阀; 结构改进; 微加工; 刻蚀;

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