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MEMS的主流集成技术

         

摘要

MEMS技术已经迅速从一种标新立异的概念转化为各种实用的演示样品,而且继续向早期产品演进。这种转变的速度完全是建立在巧妙利用现有集成电路工艺的制造能力基础之上的:厂房、设备、加工、工艺、材料及人员,几乎整个一千亿美元规模的产业基础设施都可以用来支持MEMS技术。

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