走近MEMS技术(上)

缪昊

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@@ MEMS技术是近年来飞速发展的一个研究领域.MEMS的英文全称为Micro Electro-Mechanical System,即微电子机械系统,它主要是指由微机械加工方法加工的微传感器和微执行器,与微电子信号处理和控制电路有机结合而成的自动化和智能化的微系统(目前的尺寸为1μm～1mm,未来也有可能达到nm级).其中微传感器获取信息,信号处理与控制电路处理信息并作出决策,微执行器则实现机械动作.

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来源
《电子产品世界》 |2000年第9期|74-75|共2页
作者
缪昊;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算技术、计算机技术;
关键词
MEMS; 微电子机械系统; 半导体; 传感器;

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