扩散硅压力传感器特性分析及其应用举例

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• 来源
  《仪器仪表用户》 |2007年第5期|49-51|共3页
• 作者

  乔立永; 石成英; 李进军;

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• 作者单位

  第二炮兵工程学院,研究生三队,西安,710025;

  第二炮兵工程学院,研究生三队,西安,710025;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212.9;
• 关键词

  扩散硅; 温度补偿; 非线性校正;