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几种与材料有关的半导体新技术

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摘要

在先进的加工技术使IC不断精细化的同时,科学家和工程师们通过改变材料和相应的新技术把IC性能推上新的高度。它们是: ·硅锗器件 ·硅绝缘技术大圆片 ·铜连接线 ·低介质常数绝缘体 ·锶钛氧化物新技术其中有的已经走出实验室和边缘市场成为主流,有的则是刚刚在实验室取得的新成果。

著录项

来源
《今日电子》 |1999年第10期|14-15|共2页
作者
砥中;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体技术;
关键词
半导体技术; 材料; 硅锗器件; 硅绝缘; 铜连接线;

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