钼基和铪基上溅射碳膜的某些特性

毕建明; 曹蕴珠

首页> 中文期刊> 《电子科学学刊》 >钼基和铪基上溅射碳膜的某些特性

钼基和铪基上溅射碳膜的某些特性

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

微波管电极表面涂复碳膜能改善管子性能。本文介绍了采用高频溅射热解石墨的方法在Mo基和Hf基上形成碳膜的一些研究情况。包括碳膜的制造、成分分析,次级发射性能和热辐射特性以及在真空系统中随温度上升释放气体的质谱分析等。主要结果有:(1)复碳钼有明显的吸氧效应;(2)钼、铪上复碳后次级发射系数降为δ_(max)(?)0.7;(3)高温时(930℃)钼基上的碳膜会很快消失,但铪基上的碳膜到1050℃仍无明显变化;(4)复碳钼在高温时有一定量的CH_4形成。

著录项

来源
《电子科学学刊》 |1990年第1期|103-108|共6页
作者
毕建明; 曹蕴珠;
展开▼
作者单位

不详;

不详;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN120.52;
关键词
微波管; 钼基; 铪基; 溅射; 碳膜;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性 [J] . 廖家轩 ,夏立芳 ,孙跃 . 摩擦学学报 . 2001,第5期
2. 钼基催化剂活性特征及其催化柴油机碳烟氧化特性 [J] . 梅德清 ,李显明 ,赵翔 . 农业工程学报 . 2014,第022期
3. 磁控溅射中溅射电流对Ti薄膜膜基结合性能的影响 [J] . 李丽 ,吴卫 ,张尧成 . 表面技术 . 2010,第5期
4. 钼系、钼铋系和三元钼铋基氧化物上氧吸附物种的EPR研究 [J] . 林淑琼 . 厦门大学学报（自然科学版） . 1989,第002期
5. 反应磁控溅射周期结构TiN/ZrOxNy多层膜的微结构与膜基结合力 [J] . 张冰烨 ,袁妍妍 ,涂昱淳 . 江苏科技大学学报（自然科学版） . 2021,第001期
6. 硅上取代基对于含硫碳官能基有机硅化合物重排反应机理及热稳定性的影响 [C] . . 第十四届中国有机硅学术交流会 . 2008
7. 二氧化铪基纳米薄膜的反应磁控溅射制备工艺研究以及电容器集成 [A] . 戈占伟 . 2015

钼基和铪基上溅射碳膜的某些特性

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅