公开/公告号CN110002892B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 航天特种材料及工艺技术研究所;
申请/专利号CN201910378688.X
申请日2019-05-08
分类号C04B35/80(20060101);C04B35/56(20060101);C04B35/622(20060101);
代理机构11609 北京格允知识产权代理有限公司;
代理人刘晓;谭辉
地址 100074 北京市丰台区云岗北里40号院
入库时间 2022-08-23 12:35:45
机译: 用于沉积碳化物或碳氮化钽钽薄膜的有机金属前驱体及其沉积方法
机译: 在衬底上形成包含硅和碳的层,包括将衬底引入反应器,引入碳前驱体,引入硅前驱体并使该前驱体反应
机译: 碳/碳复合材料的前驱体的制造方法以及使用碳/碳复合材料的前驱体的制造方法