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半导体生产线调度与仿真系统与 MES 系统集成设计与实现

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摘要

针对半导体生产线计划与调度特点，结合半导体 MES 生产制造执行系统数据库结构设计半导体生产线调度与仿真系统，实现与 MES 系统的有效集成，使两系统间的数据实现同步传递并相互验证。

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来源
《电子技术与软件工程》 |2015年第10期|P.193-193|共1页
作者
陈璐;
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作者单位

上海贝岭微电子制造有限公司,上海市200233;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
半导体制造; 调度与仿真系统; MES系统; 系统集成;

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