基于RFID的数字化掩模制造

机译：基于VLSI设计意图的光掩模数据优先化及其在掩模制造中的应用

机译：基于数字虚拟掩模制造技术的圆形光栅的设计与制造

机译：使用现有光掩模制造能力制造用于EUV光刻的自对准交替相移光掩模的简单方法

机译：飞秒激光直接构图技术无掩模数字化制造有机薄膜晶体管

机译：在精益制造环境中基于信息可见性的作业车间调度对RFID进行评估。

机译：基于掩模的一步法光刻技术用于制造3D悬浮结构

机译：中国制造业公司在供应链中采用RFID的决定因素：判别分析中国制造业公司在供应链中采用RFID的决定因素：判别分析中国制造业公司在供应链中采用RFID的决定因素。

机译：Terrestrial planet Finder Coronagraph的成型焦平面掩模：设计，制造，模拟和测试结果

机译：基于聚醚的基于嵌段共聚物，用于形成包含相同成分的硬掩模的组合物，以及使用以硬掩模为模板的硬掩模作为蚀刻掩模来制造半导体器件的方法

机译：用于计算或制造用于制造集成电路的结构化掩模或结构的掩模的方法包括：基于结构化的掩模和/或结构来计算或制造掩模。

机译：在掩模制造的背景下增强用于光刻的掩模的图像特性的方法，涉及制造掩模并基于掩模布局向列表提供关键位置