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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

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摘要

近年来,随着光电器件的广泛应用,微机械光开关(MEMS)成为核心光交换器件的主流.在研发过程中,其器件检测手段成为人们所关注的话题.文章介绍了一种新颖的测量平台,通过高幅值利用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件.与当前同类方法相比,具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等特点,具有广阔的使用前景.

著录项

来源
《电子与封装》 |2006年第6期|21-24|共4页
作者
刘小冬; 刘睿;
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作者单位

吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业,吉林,长春,130023;

吉林大学电子科学与工程学院微电子学专业,吉林,长春,130023;

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正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
单片机; 测量; 微机械; 光开关; 阙值电压;

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