掩模制造用量测设备工件台结构研究

华卫群; 尤春; 薛文卿

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掩模制造用量测设备工件台结构研究

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高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度.选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度.量测设备工件台结构和零部件组合的几何精度分析结果表明,高精密量测机台的水平/垂直直线性上移动小于2 μm,气悬浮平台的悬浮间隙误差小于1 μm.

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来源
《电子与封装》 |2021年第6期|59-63|共5页
作者
华卫群; 尤春; 薛文卿;
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作者单位

无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡 214135;

无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡 214135;

无锡中微掩模电子有限公司江苏无锡 214135;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
量测设备; 工件台; 花岗岩基座; 气浮导轨; 微晶玻璃;

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