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同时沉积; 设备; 方法; 能源变换设备有限公司; 美国; 密歇根州; 薄膜材料; 真空沉积;
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机译:专利申请批准过程中的“有机薄膜沉积设备,有机电子元件制造设备和有机薄膜沉积方法”
机译:神户制钢开发了用于金刚石晶片的新制造方法,该方法可在高性能硅电子设备上沉积并沉积在硅基板上,从而大大降低了晶界,并于今年年底投入实际使用
机译:UHP气体输送系统设计的整体方法可降低等离子体蚀刻和沉积设备中反应物分布的随机变化:EO:设备优化
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