双位组合四探针法与常规四探针法的对比研究

王倩

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论述了用四探针法测量半导体片电阻率的基本原理及优缺点.在常规四探针法的缺点是:所使用的探针头的探针间距应相等,对探针的游移率要求严格;材料的几何尺寸与探针间距相比应满足半无穷大.当上述条件不能满足,我们可以使用双位组合四探针法进行测量.我们对双位四探针法与常规四探针法进行了对比分析,并探讨了产生不同结果的根源.

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来源
《电子工业专用设备》 |2018年第3期|64-66|共3页
作者
王倩;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、调整及设备;
关键词
电阻率; 厚度修正; 四探针法;

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