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陈特超; 谢利华;
中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;
等离子体; 反应离子; 刻蚀原理; 工艺实验;
机译:用于有机薄膜太阳能电池的新型富勒烯衍生物亚甲基茚富勒烯的研制
机译:用1.5步成型机高速生产各种容器新型号“ PF24-8”研制成功并在世界范围内首次亮相
机译:用于富勒烯的有机太阳能电池的有机染料的分子材料的研制
机译:高性能有机太阳能电池新型半导体聚合物的研制
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:在−50°C以上的条件下使用微毛细管冷凝对多孔有机硅低k进行无损等离子体刻蚀
机译:用活性天然沸石生产卡拉胶的新型节能吸附干燥机的研制
机译:硅太阳能电池新型混合多结结构的研制。
机译:等离子体处理工具,双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
机译:等离子产生工具,双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
机译:等离子体处理工具双源等离子体刻蚀机,双源等离子体刻蚀方法以及形成平面线圈双源等离子体刻蚀机的方法
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