硅片湿法清洗技术与设备

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• 来源
  《电子工业专用设备》 |2010年第8期|20-22,35|共4页
• 作者

  张乾;

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• 作者单位

  中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 洁净技术;
• 关键词

  RCA; 化学清洗; 刷洗; 兆声; 喷淋清洗; 水冲洗;