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MEMS的微封装技术初探

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摘要

扼要介绍了电子机械系统的发展及市场，包括微陀螺仪，微传感器，微加速度计，微电动机等几种代表性产品的封装技术，目前存在问题和今后的发展方向，并发表了笔者的见解。

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |1997年第2期|19-26|共8页
作者
毅力;
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作者单位

西安微电子技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类封装及散热问题;
关键词
微电子机械系统; 微封装技术; 封装; MEMS;

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