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诺发（NOVELLUS）VECTOR EXPRESS推出1年内售出100台增强型PECVD平台迅速被全球各大IC制造商和代工厂采用

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日前，诺发系统有限公司（Novellus Systems）宣布自其一年前推出VECTOR Express^TM以来，已为业界领先的逻辑器件和存储器件制造商提供了超过100台VECTOR Express？产品。目前，VECTOR Express已经在半导体行业十大资本设备采购商中的八家实现了量产。

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来源
《电子工业专用设备》 |2008年第5期|72-72|共1页
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正文语种 chi
中图分类企业供销管理;
关键词
EXPRESS; 制造商; PECVD; Express; 增强型; VECTOR; 工厂; IC;

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