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Aviza刻蚀设备Omega fxP获中国晶圆厂订单

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据FabTech网站报道，Aviza Technology称，中国大陆一家关键晶圆厂订购了Omega fxP刻蚀设备，该设备配备有两个ICP（感应耦合等离子）工艺模块。

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《电子工业专用设备》 |2008年第5期|40-40|共1页
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正文语种 chi
中图分类制造工艺;算法理论;
关键词
Omega; 刻蚀设备; 中国大陆; fxP; 晶圆; Technology; 订单; 工艺模块;

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