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一种载片刚性转架的动平衡校准探析

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摘要

旋转冲洗甩干机是半导体湿法清洗工艺中的主流设备之一,其关键技术之一,是如何克服该设备中载片刚性转架在高速旋转时产生的振动,从而引发盒装晶圆片在冲洗、干燥工艺流程中易出现碎片、干燥不彻底等现象,为此,对载片刚性转架结构的构建、转动不平衡修正、动平衡验证等方面进行分析探究。

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2022年第2期|66-70|共5页
作者
于高洋; 陶利权; 杨晓静;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
旋转冲洗甩干; 刚性; 转架; 动平衡;

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