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詹雪奎; 万强; 凌明祥;
中国工程物理研究院总体工程研究所;
薄膜体声波谐振器; 压电效应; 多物理场耦合; 有限元; 频率响应; 寄生振动;
机译:模耦合对部分电极薄膜体声波谐振器振动特性的影响
机译:电极对薄膜体声波谐振器有效机电耦合系数的影响
机译:基于ZnO的体声波谐振器电极优化
机译:减少电极电损耗的新型体声波谐振器结构
机译:球形金属介电多层纳米谐振器中的相干等离子体激元耦合。
机译:高泛音体声波谐振器有效机电耦合系数的共振谱特性
机译:表面声波谐振器中叉指式换能器对电负载影响的仿真
机译:等离子体电极普克尔斯盒中的B场相互作用和电极优化
机译:与声波一起工作的组件具有一个电极结构,该电极结构被中间压电层隔开,中间压电层带有电隔离的部分电极,形成了可以进行声学耦合的部分谐振器
机译:具有多标记电极和优化电极厚度的横向激励薄膜体声波谐振器
机译:膜体声波谐振器装置,在该声波谐振器的下部电极膜上形成有由氮化铝构成的压电体层。
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