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类金刚石膜(DLC)的热稳定性

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摘要

阐述了类金刚石膜的热稳定性影响因素,主要包括薄膜成分和厚度及退火环境和加热方式,薄膜的机械性能、电学性能和光学性能在退火处理过程中,会随薄膜结构的变化而发生相应的变化.

著录项

来源
《装备制造技术》 |2008年第8期|30-31,34|共3页
作者
陈莲华; 王平; 王星云;
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作者单位

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

华南理工大学,机械工程学院,广东,广州,510640;

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正文语种 chi
中图分类非晶态合金;
关键词
类金刚石膜; 热稳定性; 退火;

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