用于微电子封装的高频压电超声换能器模态优化设计

ZHANG Ji-chang; HUANG Jia-wei; ZHANG Hong-jie

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用于微电子封装的高频压电超声换能器模态优化设计

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研究了高频压电超声换能器的优化设计方法,基于四端网络方法和有限元分析软件ANSYS参数化建模,通过不断调节结构参数的大小对换能器进行优化,使工作频率在满足设计要求的前提下,实现了工作频率与其他非工作频率的分离.通过阻抗分析仪和多普勒激光测振仪对换能器进行测试,实验结果表明,该换能器工作频率为110.161 kHz,工作频率附近不存在非纵振模态和其它寄生的振动形式.

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来源
《装备制造技术》 |2018年第11期|56-59|共4页
作者
ZHANG Ji-chang; HUANG Jia-wei; ZHANG Hong-jie;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类超声换能器;
关键词
微电子封装; 高频超声换能器; 结构优化设计; 模态集中;

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