氮化铝单晶的物理气相输运生长设备研究进展

著录项

• 来源
  《装备制造技术》 |2021年第6期|88-95|共8页
• 作者

  胡北辰; 解永强; 王成君; 唐宏波; 孙蕾;

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• 作者单位

  中国电子科技集团公司第二研究所 太原030024;

  中国电子科技集团公司第二研究所 太原030024;

  中国电子科技集团公司第二研究所 太原030024;

  中国电子科技集团公司第二研究所 太原030024;

  太原理工大学 太原030024;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 晶体生长;
• 关键词

  氮化铝; 物理气相输运; 热场; 坩埚; 控制系统;