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电腐蚀制备多孔硅(PS)的微结构探索

         

摘要

采用电化学腐蚀法制备了多孔硅(PS),用原子力显微镜观察和分析多孔硅的纳米尺寸微结构,探讨多孔硅的发光机理;用光栅单色仪测量多孔硅的光致发光谱,观察到"蓝移"现象,符合量子尺寸效应理论.

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