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EVG620HBL：自动光刻系统

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EVG推出EVG620HBL全自动光刻系统，以EVG光刻机平台为基础，旨在优化高亮度发光二极管（HB—LED）、复合半导体和动力电子设备的生产制造。EVG620HBL增加了—个高强度紫外线光源和五个向盒装卸台，可以不间断地制造设备。因此，EVG620HBL全自动光刻系统的产量增加，

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来源
《世界电子元器件》 |2011年第4期|37-37|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光刻系统; 高亮度发光二极管; 复合半导体; 紫外线光源; 生产制造; 电子设备; 制造设备; 全自动;

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