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力学探针及其在薄膜力学性能测量上的应用

         

摘要

力学探针是近年来发展的一种先进的微区力学性能测试方法.本文介绍了力学探针的工作原理,以及采用力学探针技术准确测量薄膜力学性能的两步压入法,展示了这种测试技术在材料力学性能评价上的明显优势和发展潜力.

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