硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响

孙仲刚; 于波

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针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究.理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积的影响.从应用角度出发,研究了制备过程中棒状多晶硅致密性、能耗、硅烷转化率等方面的影响因素.通过降低杂质和改善硅棒外观,使生产的多晶硅棒达到了区熔级的标准,并成功区熔成晶.提出了在制备工艺中尚待优化的问题,指出采用侧面间接进气方式有利于沉积的均匀性和致密性.

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来源
《河北工业科技》 |2016年第1期|63-67|共5页
作者
孙仲刚; 于波;
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作者单位

英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室,河北保定 071051;

英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室,河北保定 071051;

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正文语种 chi
中图分类 TQ127.5;
关键词
晶体学; CVD反应器; 硅烷; 温度梯度; 表面温度; 多晶硅;

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